康熙五十九年（公元1720），大师在阿育王山率领大众，正式启建为期七天的涅槃法会。所备供品和熟食力求精洁，不干不湿，非生非冷。在此期间，大师写下了著名的《劝发菩提心文》，勉励四众同发菩提心，珍惜旷劫难逢的净土因缘。

发坚固愿，求生西方。言辞恳切，可谓一片血诚，闻者无不感动。彭际清居士更直言，读大师此文“未尝不汗浃背，涕沾衣也”。足见大师文字般若，具有巨大的感发人心的力量。

此后，直至雍正七年（公元1729），大师一直住在阿育王山，连续十年举行佛涅槃法会。大师除自己纯提净土、专修净业外，日常为大众讲解《法华经》《楞严经》《佛遗教经》《阿弥陀经》等，开示是心是佛之旨。三根普摄，法化洋溢，江浙一带的缁素弟子倾心归向，法筵盛况超过诸方。

同时，大师还应永福寺、普庆寺、海云寺之请，前往主持寺院，每至一处，即订立规约。如大师曾作《净业堂规约》《净业堂铭》《斋堂铭》《浴室铭》《厕铭》《卧室铭》等勉励大众，如《卧室铭》言：

昔人报怨，卧薪尝胆，廿载辛勤，大事斯办。

生死为冤，受害已深，如何睡眠，纵恣身心？

三界无安，不宜久住，勤修正观，早求出世。

莲华佛国，其乐洋洋，归去来兮，无忘故乡！

因为大师的德行感召，所到之处的寺院总是模范一新，清规肃穆，当时的人都认为他是永明大师再来。

雍正八年（公元1730），大师在梵天寺西院禁足，闭关三年，并题其室为“寸香斋”，意为在寸香的时间内会客，其余时间念佛。其《寸香斋铭》云：“尊客相逢，勿谈世谛，寸香为期，唯道是语。不近人情，不拘俗礼，知我罪我，听之而已。”

雍正十一年（公元1733），大师在梵天寺西院的寸香斋闭关三年期满，时年四十八岁。十二月初八佛成道日，大师对弟子说：“我于明年四月十四日长往矣。”于是，再次掩关寸香斋，每天念佛十万声作为定课。

雍正十二年（公元1734），这是省庵大师住世的最后一年。当年四月二日，大师出关。十二日，对大众说：“我在十天前见到西方三圣降临虚空，今天又见到了，我要往生净土了。”随即安排好寺院中的各项事务，并和城中闻讯而来的护法居士一一辞别。侍者请求留下偈子，大师写完后说：“我十四日一定往生，你们为我集众念佛。”