四月十三日，大师断除饮食。十四日五更时沐浴更衣，面向西方端坐。至巳时，远近而来的缁素弟子齐集大师身边，涕泪膜拜请求大师住世，继续度化众生。大师重新睁开眼睛说：“我去即来。生死事大，各自净心念佛。”话刚说完，即合掌称念佛名往生。过了一会儿，鼻筋下垂，颜色明润，直到封龛，容颜都未曾改变。

当年的腊月初八日，虞山无住法师将大师的灵骨收集起来，在琴川拂水岩之西建塔供奉。

乾隆七年（公元1742），鄮山诸缁素仰怀大师高超的德行，于阿育王寺的右边重新建塔，迎请大师的灵骨入内供奉。旧塔则用来藏衣钵。

清道光间，悟开法师增推省庵大师为净土宗十祖，民国年间，印光大师又改推截流大师为十祖，则省庵大师递降为十一祖。

省庵大师虽住世仅四十九年，但对净土宗所做的贡献却深广无比。大师的思想概括如下（详见大安法师集述《莲宗十三祖师传》）：

1、发菩提心，圆成净业；

2、痛斥狂禅，指归净土；

3、欣厌心切，拔除爱桩；

4、精进修持，先求自度。

赞曰：

四十八愿，仰效弥陀。

百八首诗胜楚歌，闻者厌娑婆。

振起蹉跎，证波罗蜜多。

深入经藏难亲证，

彻悟心源力弘净。

欲使世人知所以，

作文作诗示佛令。

发菩提心为前导，

真信愿行为后劲。

若能具此殊胜法，

即生超凡而入圣。

值此省庵大师往生二百八十七周年之纪念日，谨以此文感恩省祖为念佛人建立楷模，令吾辈净业行人效法有地。吾人当目击道存，步武省祖，精勤念佛，厌舍娑婆，径登安养。同证无量光寿。

南无阿弥陀佛！

南无阿弥陀佛！

南无阿弥陀佛！