康熙三十九年（公元1700），大师剃度出家，当时大师15岁，法名实贤，字思齐，号省庵。一日，他到普仁寺，亲眼目睹一位僧人倒地而死，由此猛然感悟到人世无常，更加精勤策励自己。二十四岁时受比丘戒。先后依止渠成法师、绍昙法师研习经教，深受绍昙法师器重，并为大师授记莂，传灵峰四世天台正宗。

康熙五十三年（公元1714），大师到崇福寺参“念佛是谁”的话头，禅修精进，功夫绵密，仅用了四个月的时间即恍然契悟，说：“我梦醒了。”自此以后，应机对答辩才无碍，横说竖说，头头是道。当时的灵鹫和尚想要传予法嗣，但大师并未接受。开悟后的省庵大师随即在真寂寺闭关三年，白天阅藏，夜则专持阿弥陀佛圣号。

闭关期间，大师作了三十首《劝修净土诗》，交付工匠刻板流通。

康熙五十七年（公元1718），省庵大师至杭州隆兴寺，绍昙法师命师代讲解经律，每击节称善。同年，将原来的净土诗和新作重新修订，删繁补缺，成为108首的《劝修净土诗》。

《劝修净土诗》的增订完成，是省庵大师净土思想成熟的重要标志。其后如启建涅槃法会期间所作的《劝发菩提心文》《涅槃会发愿文》《回向偈》等，均以西方净土为指归。而《西方发愿文注》《东海若解》等净土专著中，关于禅与净、自力与他力、持名与观想等净土教理的重要阐释，均已蕴见于诗中。

康熙五十八年（公元1719）春天，大师从西泠渡江到四明阿育王山瞻礼舍利塔。随后留住于阿育王寺。

待安居结束后，大师燃一指供佛，但心犹未足。他想起幼年出家，常在僧众中询问佛涅槃的日期，却无人能够回答。后来读《涅槃经》才知道佛入灭的日期为二月十五日。心中感慨无限，随即发愿在来年佛涅槃日举行供佛法会。